杭州芯紀源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2026-02-21

設(shè)備支持比較高2000mm/s的線性掃描速度，結(jié)合多探頭并行掃描技術(shù)（如4探頭陣列），可同時覆蓋多個檢測區(qū)域。例如，針對12寸晶圓，單次掃描耗時可縮短至3分鐘以內(nèi)，較傳統(tǒng)單探頭設(shè)備效率提升4倍。

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