杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司2026-02-24

設(shè)備配備微米級(jí)水路循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)，通過(guò)多級(jí)過(guò)濾（如5μm、1μm、0.1μm濾芯）去除水中顆粒，并集成UV殺菌模塊抑制微生物生長(zhǎng)。去離子水需定期更換（建議每周一次），水質(zhì)電阻率需保持≥1MΩ·cm。

本回答由 杭州芯紀(jì)源半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 提供