科睿設(shè)備有限公司2026-03-11

設(shè)備配備了Ar、O?、N?三路氣體。Ar氣是所有濺射過(guò)程的主工作氣體，用于產(chǎn)生等離子體。O?和N?則是反應(yīng)氣體，可用于反應(yīng)濺射，例如在Ar+O?氣氛中濺射金屬Ti靶來(lái)制備TiO?薄膜，或在Ar+N?氣氛中濺射金屬Si靶來(lái)制備Si?N?薄膜。通過(guò)精確控制反應(yīng)氣體的流量，可以調(diào)控薄膜的化學(xué)計(jì)量比和性能。

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