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可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過(guò)上限或低于下限時(shí)，G...

監(jiān)測(cè)惰性、可燃性、有毒性氣體泄漏的監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)。系統(tǒng)基于開(kāi)放的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具備與其他品牌的系統(tǒng)設(shè)備（平臺(tái)）通過(guò)工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通訊、平臺(tái)和協(xié)議實(shí)現(xiàn)集成和信息交換，協(xié)議包括MODBUS、TCP/IP和OPC。系統(tǒng)由安裝在現(xiàn)場(chǎng)的可燃/有毒氣體探測(cè)器和安裝在控制室內(nèi)的控制單元...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過(guò)氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)主要適用于:Semiconductor、TFT、SunSolar等工廠特氣的集中供氣。 大宗特氣系統(tǒng)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的系統(tǒng)，高純氣體系統(tǒng)直接影響全廠生產(chǎn)的運(yùn)行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而言，集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高...

管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...

在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運(yùn)行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護(hù)、合理投資的原則，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)和實(shí)施。先進(jìn)性：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)思想和設(shè)備，充分利用現(xiàn)有高新技術(shù)，系統(tǒng)達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性：采用成熟的技術(shù)、品牌及型號(hào)，并以標(biāo)準(zhǔn)方式建設(shè)，保證系統(tǒng)運(yùn)行的良...

根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過(guò)氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...

統(tǒng)功能通過(guò)GDS系統(tǒng)（氣體檢測(cè)報(bào)警系統(tǒng)）實(shí)現(xiàn)集實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、預(yù)警處理、遠(yuǎn)程控制、設(shè)備管理與一體，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)廠區(qū)內(nèi)危險(xiǎn)氣體泄漏實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并智能判斷報(bào)警，支持聲光報(bào)警、視頻聯(lián)動(dòng)報(bào)警等多種報(bào)警效果?？捎行ьA(yù)防企業(yè)安全事故的發(fā)生，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程氣體泄漏與管理，保障企業(yè)安全生產(chǎn)...

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣，這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會(huì)普遍認(rèn)可，它是一種將氣源通過(guò)管路設(shè)計(jì)集中匯流到用氣點(diǎn)的現(xiàn)代化供氣設(shè)計(jì)；這種集中供氣方式很大地提高了效益，降低了人力資源的消耗并且安全美觀，氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢；適用于氧氣、氬氣、二氧化碳...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來(lái)微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重...

在半導(dǎo)體工廠的建設(shè)過(guò)程中，大宗特氣系統(tǒng)的建設(shè)周期與投資成本均占據(jù)較大比重。系統(tǒng)建設(shè)涉及設(shè)備采購(gòu)、場(chǎng)地規(guī)劃、管道鋪設(shè)、安裝調(diào)試等多個(gè)環(huán)節(jié)，每個(gè)環(huán)節(jié)都需要嚴(yán)格把控質(zhì)量與進(jìn)度。由于特氣系統(tǒng)的專業(yè)性極強(qiáng)，建設(shè)過(guò)程中需要專業(yè)的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)、施工團(tuán)隊(duì)與監(jiān)理團(tuán)隊(duì)協(xié)同配合，確保系...

特氣管道系統(tǒng)的主要價(jià)值在于實(shí)現(xiàn)高危特種氣體的全流程安全管控，其設(shè)計(jì)需充分適配不同氣體的物理化學(xué)特性。對(duì)于SiH?這類易燃易爆氣體，系統(tǒng)需強(qiáng)化防爆泄壓設(shè)計(jì)；針對(duì)Cl?等腐蝕性氣體，需選用耐腐性極強(qiáng)的管道與設(shè)備材質(zhì)；而超高純氣體的輸送則對(duì)管道潔凈度、密封性提出要求...

大宗特氣系統(tǒng)的氣體存儲(chǔ)環(huán)節(jié)是保障持續(xù)供應(yīng)的基礎(chǔ)。系統(tǒng)通常采用高壓氣瓶組、低溫儲(chǔ)罐等多種存儲(chǔ)方式，根據(jù)氣體的物理性質(zhì)與用量需求進(jìn)行選擇。對(duì)于用量較大的大宗氣體，如氮?dú)?、氧氣等，多采用低溫?chǔ)罐存儲(chǔ)，能夠有效降低存儲(chǔ)成本，同時(shí)滿足大流量供應(yīng)需求；對(duì)于特種氣體，則多采...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來(lái)以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配...

特氣管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與規(guī)模，直接反映了制造工廠的技術(shù)等級(jí)與產(chǎn)能。一條先進(jìn)的12英寸晶圓產(chǎn)線，其特氣系統(tǒng)可能涉及數(shù)十種氣體、長(zhǎng)達(dá)數(shù)公里的雙套管網(wǎng)絡(luò)、上百個(gè)VMB/VMP，投資巨大。它的穩(wěn)定運(yùn)行，是保障納米級(jí)芯片制造工藝重復(fù)性、一致性的基礎(chǔ)，是工廠連續(xù)不停產(chǎn)的前提。...

實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:實(shí)驗(yàn)室供氣有二級(jí)減壓和多級(jí)減壓，二級(jí)減壓即氣瓶端采用一級(jí)減壓閥和末端采用一級(jí)減壓閥來(lái)達(dá)到二級(jí)減壓的目的。實(shí)驗(yàn)室一般推薦采用二級(jí)減壓，這樣可以保證氣體的純度和節(jié)約成本，也能達(dá)到多級(jí)減壓的效果(推薦)多級(jí)減壓即氣瓶端采用二級(jí)減壓閥或多級(jí)...

管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)...

實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個(gè)現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室，安全必須放在優(yōu)先位置。由于氣瓶全部是集中存放，方便用戶集中檢查，節(jié)省成本和操作時(shí)間的同時(shí)，也當(dāng)然存在安全隱患，但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話，危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失。易燃?xì)怏w報(bào)警：如果氣瓶是集中存放的話...

特氣管道系統(tǒng)是指SiH4，NF3，Cl2易燃易爆的氣體、有毒的氣體、有腐蝕性的氣體、純度特別高(超過(guò)99.999%)的一些具有高危險(xiǎn)性，應(yīng)確保安全性的特氣儲(chǔ)存、輸送與分配過(guò)程的設(shè)備、管道和部件的總稱，特氣系統(tǒng)工程是用于實(shí)現(xiàn)特氣系統(tǒng)安全使用的工程。公司提供從供氣...

廢氣處理特性半導(dǎo)體工藝中常使用的化學(xué)物質(zhì)及其副產(chǎn)物,一般依照其化學(xué)特性與其不同的影響范圍,可分為:1.易燃性氣體如SiH4、H2等2.毒性氣體如AsH3、PH3等3.腐蝕性氣體如HF、HCl等4.溫室效應(yīng)氣體如CF4、NF3等。由于以上四種氣體對(duì)環(huán)境或人體皆具...

可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過(guò)上限或低于下限時(shí)，G...

儲(chǔ)存設(shè)備作為特氣管道系統(tǒng)的氣源主，是保障氣體穩(wěn)定供應(yīng)的基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，其主要設(shè)備為特氣柜（GC）。特氣柜的設(shè)計(jì)需具備多重安全防護(hù)功能，包括氣體泄漏檢測(cè)、自動(dòng)緊急切斷、壓力監(jiān)控與調(diào)節(jié)等，能夠?qū)?chǔ)存過(guò)程中的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行實(shí)時(shí)預(yù)警與處置。針對(duì)不同特性的特種氣體，特氣柜還需進(jìn)行個(gè)...

管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備之間應(yīng)設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置、用以控制各個(gè)閥門的開(kāi)關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，以確保供氣系統(tǒng)的安全、可靠運(yùn)行和防止“死區(qū)”形成而滯留污染物，降低氣體純度。對(duì)高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)...

面對(duì)種類繁多的特氣，系統(tǒng)的材質(zhì)選擇與設(shè)計(jì)需“量氣而定”。對(duì)于腐蝕性極強(qiáng)的氣體如Cl2、HCl，需選用耐蝕的哈氏合金；對(duì)于易自燃的SiH4，系統(tǒng)需徹底排除空氣，并配備自燃抑制劑或緊急排放燃燒裝置；對(duì)于毒性氣體如砷烷、磷烷，其雙套管負(fù)壓要求更高，排氣必須接入專門用...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...

我們是一支專業(yè)的團(tuán)隊(duì)。我們的成員擁有多年的管路工藝及安裝技術(shù)背景，多來(lái)自國(guó)內(nèi)公司的骨干。我們是一支年輕的團(tuán)隊(duì)。我們的平均年齡只有30歲，充滿了朝氣和創(chuàng)新精神。我們是一支專注的團(tuán)隊(duì)。我們堅(jiān)信，安全的工藝品質(zhì)源自客戶的信任。只有專注，才能做好安全。我們是一支有...

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)主要適用于:Semiconductor、TFT、SunSolar等工廠特氣的集中供氣。 大宗特氣系統(tǒng)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的系統(tǒng)，高純氣體系統(tǒng)直接影響全廠生產(chǎn)的運(yùn)行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而言，集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過(guò)氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...