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集中供氣系統(tǒng)與氣瓶供氣相比的優(yōu)勢(shì)1、杜絕氣瓶留余壓的浪費(fèi)，降低用氣成本。2、使用方便、操作簡(jiǎn)單，減少頻繁換氣瓶的繁瑣勞動(dòng)。3、液體密閉存儲(chǔ)，儲(chǔ)量大，質(zhì)量穩(wěn)定。4、排除了氣瓶在使用和保管過(guò)程中的易發(fā)生的碰撞、氣帶磨損、安全間距等危險(xiǎn)性。 工業(yè)集中供氣系...

工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元?dú)怏w的工業(yè)混合氣。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《瓶裝壓縮氣體分類》(GB16163-1996)中，根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶?jī)?nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進(jìn)行分類，并按其化學(xué)性能，燃燒性、毒性、腐蝕性進(jìn)行分組。第1類為長(zhǎng)久氣體，其臨界溫度〈-...

可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過(guò)上限或低于下限時(shí)，G...

特氣管道系統(tǒng)的主要價(jià)值在于實(shí)現(xiàn)高危特種氣體的全流程安全管控，其設(shè)計(jì)需充分適配不同氣體的物理化學(xué)特性。對(duì)于SiH?這類易燃易爆氣體，系統(tǒng)需強(qiáng)化防爆泄壓設(shè)計(jì)；針對(duì)Cl?等腐蝕性氣體，需選用耐腐性極強(qiáng)的管道與設(shè)備材質(zhì)；而超高純氣體的輸送則對(duì)管道潔凈度、密封性提出要求...

高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計(jì)...

系統(tǒng)特色為使GDS系統(tǒng)具有高可靠性，在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運(yùn)行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護(hù)、合理投資的原則，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)和實(shí)施。先進(jìn)性：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)思想和設(shè)備，充分利用現(xiàn)有高新技術(shù)，系統(tǒng)達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性：采用成熟的技術(shù)、品牌及型號(hào)...

特氣管道系統(tǒng)特點(diǎn)特氣系統(tǒng)中的每臺(tái)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;單臺(tái)設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來(lái)組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防...

特種氣體采用單獨(dú)氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空等。由于系統(tǒng)氣源總量大，多采用單獨(dú)的氣體房，單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都單獨(dú)于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、...

特氣管道系統(tǒng)特點(diǎn)特氣系統(tǒng)中的每臺(tái)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警，并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;單臺(tái)設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)單獨(dú)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來(lái)組成大系統(tǒng)，在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理，其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防...

大宗特氣系統(tǒng)的自動(dòng)控制與監(jiān)控系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)精細(xì)供應(yīng)與安全保障的重要支撐。該系統(tǒng)通過(guò)各類傳感器實(shí)時(shí)采集氣體的壓力、流量、純度、溫度等關(guān)鍵參數(shù)，并將數(shù)據(jù)傳輸至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)根據(jù)預(yù)設(shè)的參數(shù)范圍，對(duì)閥門、泵等設(shè)備進(jìn)行自動(dòng)調(diào)控，確保氣體供應(yīng)的壓力與流量穩(wěn)定。同時(shí)，監(jiān)控系...

特種氣體采用單獨(dú)氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空等。由于系統(tǒng)氣源總量大，多采用單獨(dú)的氣體房，單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都單獨(dú)于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、...

特種氣體采用單獨(dú)氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空等。由于系統(tǒng)氣源總量大，多采用單獨(dú)的氣體房，單獨(dú)的抽風(fēng)系統(tǒng)除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都單獨(dú)于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、...

高純氣體管道輸送管道，要根據(jù)工藝過(guò)程對(duì)氣體純度、允許的雜質(zhì)含量、微粒含量等的要求不同，采用相應(yīng)質(zhì)量的管材。比如半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)因其生產(chǎn)工藝復(fù)雜、加工精細(xì)，它不僅要求有潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，而且對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純氣體有特定的、嚴(yán)格的要求，從微米技術(shù)進(jìn)入亞微米、深亞微...

根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過(guò)大或者過(guò)長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備...

我們是一支專業(yè)的團(tuán)隊(duì)。我們的成員擁有多年的管路工藝及安裝技術(shù)背景，多來(lái)自國(guó)內(nèi)公司的骨干。我們是一支年輕的團(tuán)隊(duì)。我們的平均年齡只有30歲，充滿了朝氣和創(chuàng)新精神。我們是一支專注的團(tuán)隊(duì)。我們堅(jiān)信，安全的工藝品質(zhì)源自客戶的信任。只有專注，才能做好安全。我們是一支有...

大宗特氣系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造工廠的主要支撐體系之一，直接關(guān)系到全廠生產(chǎn)的連續(xù)性與產(chǎn)品良率。該系統(tǒng)專為集成電路芯片制造等高精度工藝設(shè)計(jì)，能夠在氣柜存儲(chǔ)基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)大規(guī)模、高純度的氣體穩(wěn)定輸送。相比傳統(tǒng)供氣方式，大宗特氣系統(tǒng)具備更嚴(yán)苛的品質(zhì)控制能力，可適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中對(duì)...

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣，這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會(huì)普遍認(rèn)可，它是一種將氣源通過(guò)管路設(shè)計(jì)集中匯流到用氣點(diǎn)的現(xiàn)代化供氣設(shè)計(jì)；這種集中供氣方式很大地提高了效益，降低了人力資源的消耗并且安全美觀，氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢；適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫...

大宗特氣系統(tǒng)的氣體存儲(chǔ)環(huán)節(jié)是保障持續(xù)供應(yīng)的基礎(chǔ)。系統(tǒng)通常采用高壓氣瓶組、低溫儲(chǔ)罐等多種存儲(chǔ)方式，根據(jù)氣體的物理性質(zhì)與用量需求進(jìn)行選擇。對(duì)于用量較大的大宗氣體，如氮?dú)?、氧氣等，多采用低溫?chǔ)罐存儲(chǔ)，能夠有效降低存儲(chǔ)成本，同時(shí)滿足大流量供應(yīng)需求；對(duì)于特種氣體，則多采...

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣，這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會(huì)普遍認(rèn)可，它是一種將氣源通過(guò)管路設(shè)計(jì)集中匯流到用氣點(diǎn)的現(xiàn)代化供氣設(shè)計(jì)；這種集中供氣方式很大地提高了效益，降低了人力資源的消耗并且安全美觀，氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢；適用于氧氣、氬氣、二氧化碳...

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)主要適用于:Semiconductor、TFT、SunSolar等工廠特氣的集中供氣。 大宗特氣系統(tǒng)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的系統(tǒng)，高純氣體系統(tǒng)直接影響全廠生產(chǎn)的運(yùn)行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而言，集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高...

可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過(guò)上限或低于下限時(shí)，G...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過(guò)氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)主要適用于:Semiconductor、TFT、SunSolar等工廠特氣的集中供氣。 大宗特氣系統(tǒng)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中必不可少的系統(tǒng)，高純氣體系統(tǒng)直接影響全廠生產(chǎn)的運(yùn)行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而言，集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高...

工業(yè)氣體按組份可分為單一品種氣體的工業(yè)純氣和二元或多元?dú)怏w的工業(yè)混合氣。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《瓶裝壓縮氣體分類》(GB16163-1996)中，根據(jù)工業(yè)純氣在氣瓶?jī)?nèi)的物理狀態(tài)和臨界溫度進(jìn)行分類，并按其化學(xué)性能，燃燒性、毒性、腐蝕性進(jìn)行分組。第1類為長(zhǎng)久氣體，其臨界溫度〈-...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來(lái)以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配...

實(shí)驗(yàn)室氣體報(bào)警:一個(gè)現(xiàn)代化的實(shí)驗(yàn)室，安全必須放在前面。由于氣瓶全部是集中存放，方便用戶集中檢查，節(jié)省成本和操作時(shí)間的同時(shí)，也當(dāng)然存在安全隱患，但如果預(yù)警措施、安全措施到位的話，危險(xiǎn)是可以避免的!為用戶節(jié)省些不必要的損失：易燃?xì)怏w報(bào)警：如果氣瓶是集中存放的話，可...

大宗特氣系統(tǒng)的兼容性與擴(kuò)展性是適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝升級(jí)的重要保障。隨著芯片生產(chǎn)工藝的不斷迭代，所需的氣體種類、純度與用量都可能發(fā)生變化，系統(tǒng)需具備良好的兼容性，能夠適配不同類型的特氣供應(yīng)需求。同時(shí)，系統(tǒng)還需具備一定的擴(kuò)展性，能夠在不影響現(xiàn)有系統(tǒng)運(yùn)行的前提下，通過(guò)...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來(lái)以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配...

大宗特氣系統(tǒng)的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程正在不斷加速。過(guò)去，我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的大宗特氣系統(tǒng)主要設(shè)備與技術(shù)多依賴進(jìn)口，不僅成本高昂，而且在技術(shù)服務(wù)與備件供應(yīng)方面存在諸多不便。近年來(lái)，隨著我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展與國(guó)家對(duì)主要技術(shù)自主可控的重視，國(guó)內(nèi)企業(yè)加大了對(duì)大宗特氣系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)的...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...