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集中供氣系統(tǒng)與氣瓶供氣相比的優(yōu)勢(shì)1、杜絕氣瓶留余壓的浪費(fèi)，降低用氣成本。2、使用方便、操作簡(jiǎn)單，減少頻繁換氣瓶的繁瑣勞動(dòng)。3、液體密閉存儲(chǔ)，儲(chǔ)量大，質(zhì)量穩(wěn)定。4、排除了氣瓶在使用和保管過程中的易發(fā)生的碰撞、氣帶磨損、安全間距等危險(xiǎn)性。工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代...

第2類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃，包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。其中，高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃，在充裝時(shí)為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時(shí)即蒸發(fā)為氣態(tài)，分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體...

高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃，在充裝時(shí)為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時(shí)即蒸發(fā)為氣態(tài)，分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體(包括二氧化碳)；b組為可燃無毒和自燃有毒氣體；c組為易分解或聚合的可燃?xì)怏w。...

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)主要適用于:Semiconductor、TFT、SunSolar等工廠特氣的集中供氣。大宗特氣系統(tǒng)作為半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中必不可少的系統(tǒng)，高純氣體系統(tǒng)直接影響全廠生產(chǎn)的運(yùn)行和產(chǎn)品的質(zhì)量。相比較而言，集成電路芯片制造廠由于工藝技術(shù)難度更高、生產(chǎn)過程更...

尾氣處理系統(tǒng)： 半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對(duì)應(yīng)之廢氣）4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)Scrubber尾...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重...

根據(jù)用氣設(shè)備的分布情況，高純氣體的管網(wǎng)不宜過大或者過長(zhǎng)；宜采用不封閉的環(huán)形管路，在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以便在管網(wǎng)中總有高純氣體流通，不會(huì)發(fā)生“死空間”引起高純氣體的污染。管路中應(yīng)減少不流動(dòng)氣體的“死空間”，不應(yīng)設(shè)有盲管，在特種氣體的儲(chǔ)氣瓶與用氣設(shè)備...

監(jiān)測(cè)惰性、可燃性、有毒性氣體泄漏的監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)。系統(tǒng)基于開放的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具備與其他品牌的系統(tǒng)設(shè)備（平臺(tái)）通過工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通訊、平臺(tái)和協(xié)議實(shí)現(xiàn)集成和信息交換，協(xié)議包括MODBUS、TCP/IP和OPC。系統(tǒng)由安裝在現(xiàn)場(chǎng)的可燃/有毒氣體探測(cè)器和安裝在控制室內(nèi)的控制單元...

監(jiān)測(cè)惰性、可燃性、有毒性氣體泄漏的監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)。系統(tǒng)基于開放的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，具備與其他品牌的系統(tǒng)設(shè)備（平臺(tái)）通過工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通訊、平臺(tái)和協(xié)議實(shí)現(xiàn)集成和信息交換，協(xié)議包括MODBUS、TCP/IP和OPC。系統(tǒng)由安裝在現(xiàn)場(chǎng)的可燃/有毒氣體探測(cè)器和安裝在控制室內(nèi)的控制單元...

第2類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃，包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。其中，高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃，在充裝時(shí)為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時(shí)即蒸發(fā)為氣態(tài)，分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體...

集中供氣的優(yōu)點(diǎn)1、配有專門的控制設(shè)備，以排除每次更換氣瓶時(shí)引入的雜質(zhì)，確保管路氣體終端的純度。2、不間斷氣體供應(yīng)；氣體控制系統(tǒng)可以手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行切換，以保證氣體連續(xù)供給。3、氣體壓力穩(wěn)定；系統(tǒng)采用集中降壓，亦可采用兩級(jí)減壓方式供氣，供氣更加穩(wěn)定流暢。4、高效益...

面對(duì)種類繁多的特氣，系統(tǒng)的材質(zhì)選擇與設(shè)計(jì)需“量氣而定”。對(duì)于腐蝕性極強(qiáng)的氣體如Cl2、HCl，需選用耐蝕的哈氏合金；對(duì)于易自燃的SiH4，系統(tǒng)需徹底排除空氣，并配備自燃抑制劑或緊急排放燃燒裝置；對(duì)于毒性氣體如砷烷、磷烷，其雙套管負(fù)壓要求更高，排氣必須接入專門用...

電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并從根本上制約著電...

特氣管道系統(tǒng)的主要價(jià)值在于實(shí)現(xiàn)高危特種氣體的全流程安全管控，其設(shè)計(jì)需充分適配不同氣體的物理化學(xué)特性。對(duì)于SiH?這類易燃易爆氣體，系統(tǒng)需強(qiáng)化防爆泄壓設(shè)計(jì)；針對(duì)Cl?等腐蝕性氣體，需選用耐腐性極強(qiáng)的管道與設(shè)備材質(zhì)；而超高純氣體的輸送則對(duì)管道潔凈度、密封性提出要求...

第2類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃，包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。其中，高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃，在充裝時(shí)為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時(shí)即蒸發(fā)為氣態(tài)，分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)?、氫氣、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...

尾氣處理系統(tǒng)： 半導(dǎo)體工藝廢氣處理方式依據(jù)廢氣處理的特性,在處理可分為四種處理方式:1、水洗式(處理腐蝕性氣體)2、氧化式(處理燃燒性,毒性氣體3、吸附式(干式)(依照吸附材種類處理對(duì)應(yīng)之廢氣）4、等離子燃燒式(各類型廢氣皆可處理)Scrubber尾...

可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過上限或低于下限時(shí)，G...

“輸送”模塊主要指廠務(wù)級(jí)別的管道網(wǎng)絡(luò)，普遍采用雙套管（或稱套管）設(shè)計(jì)。內(nèi)管輸送特氣，外管則形成包圍的保護(hù)層，充入惰性氣體或保持負(fù)壓。一旦內(nèi)管發(fā)生微泄漏，泄漏物會(huì)被約束在外套管中，并通過偵測(cè)器立即報(bào)警，防止其擴(kuò)散至公共區(qū)域。這種設(shè)計(jì)是防止有毒易燃?xì)怏w大面積外泄的...

第2類為液化氣體，其臨界溫度≥-10℃，包括高壓液化氣體和低壓液化氣體。其中，高壓液化氣體臨界溫度≥-10℃、且≤70℃，在充裝時(shí)為液態(tài)，但在允許的工作溫度下儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中隨著溫度升高至臨界溫度時(shí)即蒸發(fā)為氣態(tài)，分為a、b、c三組：a組為不燃無毒和不燃有毒氣體...

可燃/有毒氣體探測(cè)器負(fù)責(zé)對(duì)生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)的各種氣體的檢測(cè)，并將采集的氣體濃度轉(zhuǎn)換成模擬信號(hào)。數(shù)據(jù)采集模塊將采集到的信號(hào)，以串行通訊的方式傳送至GDS控制單元上，GDS控制單元根據(jù)檢測(cè)值分別與各自的報(bào)警上/下限進(jìn)行比較，當(dāng)某個(gè)探測(cè)器檢測(cè)到的濃度超過上限或低于下限時(shí)，G...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡(jiǎn)單來說，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...

在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上，應(yīng)遵循技術(shù)先進(jìn)、運(yùn)行可靠、功能豐富、使用方便、易于維護(hù)、合理投資的原則，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行整體設(shè)計(jì)和實(shí)施。先進(jìn)性：采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)思想和設(shè)備，充分利用現(xiàn)有高新技術(shù)，系統(tǒng)達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。成熟性：采用成熟的技術(shù)、品牌及型號(hào)，并以標(biāo)準(zhǔn)方式建設(shè)，保證系統(tǒng)運(yùn)行的良...

工業(yè)集中供氣系統(tǒng)是一種現(xiàn)代化集中供氣，這種現(xiàn)代化的供氣方法得到了社會(huì)普遍認(rèn)可，它是一種將氣源通過管路設(shè)計(jì)集中匯流到用氣點(diǎn)的現(xiàn)代化供氣設(shè)計(jì)；這種集中供氣方式很大地提高了效益，降低了人力資源的消耗并且安全美觀，氣體輸出更加的穩(wěn)定流暢；適用于氧氣、氬氣、二氧化碳、氫...

統(tǒng)功能通過GDS系統(tǒng)（氣體檢測(cè)報(bào)警系統(tǒng)）實(shí)現(xiàn)集實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、預(yù)警處理、遠(yuǎn)程控制、設(shè)備管理與一體，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)廠區(qū)內(nèi)危險(xiǎn)氣體泄漏實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并智能判斷報(bào)警，支持聲光報(bào)警、視頻聯(lián)動(dòng)報(bào)警等多種報(bào)警效果。可有效預(yù)防企業(yè)安全事故的發(fā)生，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程氣體泄漏與管理，保障企業(yè)安全生產(chǎn)...

實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)，是現(xiàn)在一種普遍被采用的供氣方式，它主要是由氣源，切換裝置，調(diào)壓裝置，終端用氣點(diǎn)，監(jiān)控及報(bào)警裝置組成。簡(jiǎn)單來說，實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)就是將所有氣瓶集中存放在氣瓶房，通過氣瓶減壓閥將氣體輸送到各個(gè)實(shí)驗(yàn)室（即儀器端）的系統(tǒng)。實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)操作原理:...

大宗特氣系統(tǒng)的應(yīng)用受益于污染控制的進(jìn)步。首先大包裝容器保證了氣體品格的連續(xù)性，降低了屢次充裝的污染風(fēng)險(xiǎn)，其次在氣站建設(shè)時(shí)候做好每個(gè)單元模塊的功能架構(gòu)，使得大宗氣體也可以保持高的純度。另外，液態(tài)氣體使用前的預(yù)熱、電子秤等的加入也是需要綜合考慮的因素。大宗特氣供應(yīng)...

高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵，包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為主的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴(yán)格的要求，使高純氣體的配...

高純氣體管道的設(shè)計(jì)要點(diǎn)：1.對(duì)于不同特性的氣體，要規(guī)劃供應(yīng)區(qū)域，一般分為三個(gè)區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質(zhì)的氣體集中加強(qiáng)管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。2.管道設(shè)計(jì)...

在集成電路芯片制造中，大宗特氣系統(tǒng)的復(fù)雜性與代表性尤為突出。由于制程節(jié)點(diǎn)不斷微縮，工藝步驟繁多，所需氣體種類涵蓋氮?dú)狻錃?、氧氣、氬氣以及特種氣體如硅烷、氨氣、六氟化鎢等數(shù)十種。這些氣體不僅用量巨大，其純度通常需達(dá)到99.999%乃至更高，任何細(xì)微污染都可能導(dǎo)...