科睿設(shè)備有限公司2026-03-10
用于薄膜退火、晶化、擴(kuò)散、除氣,高溫高真空環(huán)境抑制污染,提升半導(dǎo)體結(jié)晶與摻雜喚醒。適合氧化物、超導(dǎo)、寬禁帶半導(dǎo)體后處理。
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