ALD 薄膜在半導(dǎo)體中的典型應(yīng)用有哪些？

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科睿設(shè)備有限公司2026-03-10

ALD 制備高 k 柵介質(zhì)、阻隔層、鈍化層、封裝層，臺階覆蓋 100%、無細(xì)孔、厚度準(zhǔn)確。適用于先進(jìn)晶體管、MEMS、傳感器、顯示器件，提升絕緣性、穩(wěn)定性與壽命。

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簡介：公司主營紫外光刻、磁控濺射等前沿儀器，為納米與薄膜材料研究提供專業(yè)解決方案，助力中國科技飛速成長。

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